全國服務(wù)咨詢熱線:
18627990650
18627990650
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > > 氣體傳感器 > Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝
簡要描述：紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品型號：Gasboard-2061廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2025-11-13訪 問 量：1843相關(guān)文章
RELATED ARTICLES詳細介紹
產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號：Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度
（3）無耗材
（4）模擬/數(shù)字通信
（5）模塊化設(shè)計，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測
產(chǎn)品咨詢
全國統(tǒng)一服務(wù)電話
027-81628829
電子郵箱：cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn
公司地址：武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號
業(yè)務(wù)咨詢微信
