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紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

激光氨氣檢測儀AM5302-EK由四方光電自主研發(fā)，是基于可調(diào)諧半導體激光吸收光譜技術（TDLAS)的高性能光學氣體分析儀。窄帶激光光譜吸收技術對氨氣具有選擇性，不受其它氣體、水汽、粉塵等干擾，可在惡劣工況及復雜氣體環(huán)境下穩(wěn)定工作。系統(tǒng)配備高性能探頭與特殊工藝處理氣室，在提高檢測精度與靈敏度的同時，也保證了性能的穩(wěn)定性與更長的使用壽命。

低濃度粉塵儀OPC-6510A采用光學散射原理，可精確檢測并計算單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數(shù)，內(nèi)置四方光電塵源智能識別模塊，具有6L/min大流量的氣體采樣速率，可同時輸出0.3μm、0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm、1.0μm、1.5μm、2.0μm、2.5μm、5.0μm、8.0μm、10μm十二個通道的顆粒數(shù)，PM2.5、PM10質(zhì)量濃度。

制氧機鼓風機是由四方光電自主研發(fā)的一款直流無刷鼓風機，無需外部管道即可改變空氣方向，是定點冷卻高密度設備的理想選擇。DC9733鼓風機采用BLDC電機，選用進口軸承和PBT塑料外殼，具有重量輕、散熱快、噪音低和壽命長的優(yōu)勢。

可燃氣體探測器JT-AM5301-JG是一款安裝在廚房等可能發(fā)生燃氣(CH4)泄漏場所的氣體報警器，當空氣中的燃氣濃度超過設定值時探測器會觸發(fā)報警功能，并對外發(fā)出聲光報警信號。若設備連接報警主機和接警中心則可聯(lián)網(wǎng)報警,同時關閉燃氣管道閥門；還可通過手機APP實時監(jiān)控，在超過報警濃度后APP會及時彈窗報警信息，保障生命和財產(chǎn)安全。

熱導氫氣傳感器ATRS-1010-H2是由四方光電自主研發(fā)的一款熱傳導氫氣傳感器,基于氣體熱傳導測量的方法，為汽車動力電池熱失控和鋰電池儲能安全監(jiān)測實現(xiàn)提前快速預警，提高安全性。同時可以對氫氣泄漏進行有效監(jiān)測，并將測量信號通過UART通信傳遞給主控系統(tǒng)。具有測量準確、響應時間快速、測量量程大、功耗低和壽命長等顯著特點。

電池熱失控氣壓傳感器ATRS-1010-P可實現(xiàn)對電芯熱失控時釋放出的氣體對其壓力指標進行有效監(jiān)測，并將測量信號通過 CAN 傳遞給 BMS，起到電芯熱失控氣壓監(jiān)測和預警的功能。